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晶圓靜態(tài)參數(shù)測(cè)試

設(shè)備：半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、探針臺(tái)B1505A、TS2000-HP

廠商：Keysight、MPI

用途：

技術(shù)指標(biāo)：

l 進(jìn)行寬范圍的電流/電壓測(cè)量：達(dá)1500A/10KV

l 精確的泄漏電流測(cè)量（亞pA能力）

l 精密的導(dǎo)通電阻表征（μΩ分辨率）

l 快至10μs的大功率脈沖測(cè)量

l 高壓偏置下的中電流測(cè)量能力：500mA@1200V

l 進(jìn)行高電壓偏置的CV測(cè)量

l 最大直流偏置±3000V

l 高功率圓片探測(cè)支持，在圓片上進(jìn)行＞200A和10KV的測(cè)試

l 真旋鈕掃描曲線追蹤儀功能

l 支持輸出波形監(jiān)視的示波器觀察（I/V）功能

l 可溯源至國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的大電流/電壓測(cè)量

l 可擴(kuò)展的平臺(tái)和體系結(jié)構(gòu)，能隨需求變化添加測(cè)量能力

l 提供4種測(cè)試模式：曲線測(cè)試模式、應(yīng)用測(cè)試模式、傳統(tǒng)測(cè)試模式和快速測(cè)試模式?？蔀橛脩舨煌钠骷y(cè)試選擇，以最大程度地提高測(cè)量靈活性。

l 模塊化配置，有10個(gè)用于支持模塊的插槽

l 多頻電容測(cè)量單元（MFCMU），頻率范圍1KHZ至MHZ

l 適用于封裝測(cè)試和晶圓測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)附件：測(cè)試夾塊選擇器具，模和高壓偏置三通